Микроскопы для исследования полупроводниковых пластин

Микроскопы Eclipse L200N/L200ND идеальный инструмент для исследования полупроводниковых пластин диаметром до 200мм на наличие дефектов.

Модели L200N/L200ND пришли на смену предыдущей серии микроскопов L200/L200D. В комбинации с новой оптикой CFI60 LU/L и новой осветительной системой, этот микроскоп обеспечивает картинку великолепной контрастности, высокого разрешения, а картинка в темном поле теперь в три раза ярче, чем в микроскопах предыдущего поколения. Применение в комбинации со станцией загрузки подложек обеспечивает исключительную точность в процессе оптического контроля полупроводниковых пластин, трафаретов, сеток и прочих подложек.

Модели L300/L300D реализованы на оптической системе CFI60 этот микроскоп обеспечивает картинку великолепной контрастности, высокого разрешения, а картинка в темном поле теперь в три раза ярче, чем в микроскопах предыдущего поколения. Микроскоп позаимствовал систему единую призмы Senarmont, котрая позволяет проводить исследований по методу DIC простым введением в револьверное устройство одной призмы Номарского. Изображения по методу DIC получаются живыми с минимальным количеством уветовых теней даже на малых увеличениях. Слайдер DIC высококонтрастного типа обеспечивает формирование изображений с большей чувствительностью.

Серия NWL200 - это первая линейка загрузчиков пластин для микроскопов для визуального контроля, позволяющих осуществлять загрузку пластин толщиной 100 мкм. Благодаря новой системе вакуум-присоса в серии NWL200 достигается высоконадежная загрузка, что идеально для контроля полупроводников следующего поколения. Усовершенствованные функции обнаружения пластин также предотвращают их повреждения, в то время как благодаря функции обнаружения откалывания краев пластин автоматически идентифицируются соответствующие дефекты.