1. Дополнительная функция обнаружения откалывания краев
Обнаружение откалывания краев, трудно осуществимое в традиционных загрузчиках пластин для микроскопов, теперь может выполняться автоматически. Благодаря этому обеспечивается возможность макро-контроля качества всех областей, в дополнение к контролю боковой поверхности, центра обратной стороны и периферии обратной стороны, которые были возможны уже и в более ранних моделях. За счет функции высокоточной автоматической детекции возможно быстро устранять дефекты краев, которые вызывают ломку пластин.
2. Возможность удаленного доступа
Загрузчик оснащен функцией веб-сервера. Когда загрузчик подсоединен к сети LAN, можно создавать алгоритмы контроля на ПК и легко осуществлять резервное копирование с загрузчика.
• Функции поддержки подготовки алгоритмов контроля
Мастер веб-браузера помогает при выполнении шагов, отраженных в NWL200. Это позволяет легко и безопасно реализовать оптимальные алгоритмы контроля, одновременно отслеживая состояние пластин.
• Обслуживание оборудования
Существуют простые алгоритмы резервного копирования и восстановления алгоритмов контроля.
3. Предотвращение загрязнений
Для предотвращения образования пыли из-за трений и ударов при центровке пластин, центровка и юстировка плоских торцов и пазов выполняется бесконтактным образом с помощью фотоэлектрических датчиков. Система сконфигурирована таким образом, чтобы не препятствовать потоку чистого воздуха в чистом помещении и предотвратить появление посторонних частиц на поверхности пластины, имеющей поглощающую способность. Кроме того, корпус сделан из нержавеющей стали, за счет чего предотвращается накопление статического электричества и пыли. Были приняты все меры для того, чтобы гарантировать полное отсутствие загрязнений во время контроля при высокоинтегрированном процессе производства полупроводников.
4. Полный диапазон функций макроконтроля
В дополнение к макроконтролю всех областей верхней поверхности полупроводниковой пластины также стандартно поддерживаются функции макроконтроля периферии и центра обратной стороны. Параметры макроконтроля, такие как скорость вращения пластины и угол наклона, могут быть заданы автоматически или вручную. С помощью рукояток макронастройки можно задать начальные параметры, а дальнейшие настройки осуществлять с помощью джойстика. Кроме того, новая система освещения WIL-LED обеспечивает более равномерное освещение более широкого поля. В наличии имеются различные системы освещения, от освещения точечным источником света до равномерного освещения широкого поля.
